主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思是分成蒸发和溅射两种。

　　4.开机械泵、预抽，开涡轮泵电源、并启动，线.观察涡轮泵读数到达250以后，关预抽，开前级泵和高真空阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察线以后才能打开电子枪电源。

　　2.同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及灯亮，三分钟后延时及灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，灯会常亮。

　　3.开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。